产 品 说 明
四氟化碳
"用途:
四氟化碳是目前微电子工业中用量较大的等离子蚀刻气体,其高纯气及高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。"
物理性质
分子式 CF4
分子量 88
沸点 -128.1℃
临界温度 -45.67℃
临界压力 3.74Mpa
破坏臭氧潜能值 /ODP 0
**变暖系数值 /GWP 1700
质量指标
外观 无色,不浑浊
气味 无异臭
纯度 ≧99.90%
水份 ≤5ppm
,%(v/v) ≤0.03
氧气,%(v/v) ≤0.01
≤10ppm
氟化碳 ≤20ppm
酸度 ≤0.1ppm
包装规格
可重复充装钢瓶10L、40L
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主要经营制冷剂产品(、、、、6、3、4、5、4A、1B、2B、3A、、、50、70、R170、34YF、、R22、R227EA、R236FA、R245FA、R23、8、R290、、1A、1B、2A、2B、3B、4A、7C、7D)。
单位注册资金单位注册资金人民币 100 万元以下。
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